前不久的“中兴事件”暂告一个段落,这件事让我们深刻的感受到 “核心技术受制于人是我们最大的隐患”这个问题的迫切性。当然,实现微电子行业快速、稳定和高质量的发展,除了技术研发层面,还包括很多基础硬件和环境保障等方面的因素。在这其中,微电子工业洁净厂房作为最基础的环境保障,其必要性不言而喻。
微电子工业洁净厂房的设计是一项综合技术,只有充分了解微电子工业洁净厂房的设计特点,做到设计合理和选型适当,才能满足严苛的标准和要求。微电子工业洁净厂房一般是相对密闭的空间,通常高级别洁净厂房的净化空调系统采用布置灵活的FFU送风方式,FFU即为“Fan Filter Units”,中文直译就是“风机滤器机组”。其原理就是将风机和过滤器(HEPA或ULPA)组合在一起构成自身提供动力的末端净化设备。该方式解决了传统送风方式不能使用工艺布局和净化等级要求变化的问题,不过由于风机和过滤器的差别,洁净厂房最终实现的效果也有所差别。
那么如何选择能够满足微电子工业洁净厂房设计要求的FFU系统解决方案呢?AAF作为洁净空气解决方案的全球领导者,在90多年的历史中一直致力于为微电子行业开发高效节能的过滤解决方案,包括颗粒物和AMC (分子气态污染物) 过滤,全系列产品覆盖了粗中高效空气过滤器、化学过滤器、高效送风口、FFU/EFU、层流罩等净化设备。同时,AAF苏州工厂与上海同济大学产学研合办的FFU测试实验室,配合AstroScan全自动检漏扫面测试台以及化学实验室,使得AAF成为中国精品一家能够提供从高效过滤器到FFU设备,化学测试能力的过滤器厂家。
AstroDriveTM群控系统
此外,AAF在 FFU系统控制方面也引入了自主研发的AstroDriveTM群控系统。该系统以高速以太网交换机为基础,通过网关形式连接多组FFU设备,每8秒一次的系统扫描速度轻松实现高效集群化控制。在系统实用性方面,AstroDriveTM群控系统兼容市场中所有支持EBM BUS协议的风机接入,并可在多版本的WINDOWS操作系统下安装。同时用户可根据自身需求和使用环境对系统进行定制和修改,实现分区及跨区管理,并通过增加OPC Server管理,在信息系统中统一查看规划。
通过先进的生产、严谨的管理、卓越的品质、高效的性能、完整的测试服务以及超高的TCO (整体拥有成本),使得AAF的系列产品广泛应用于半导体、电子、平板显示、光伏等各行各业,根据客户不同净化等级的要求,AAF都可以提供全方位的净化空气解决方案。
气相色谱质谱联用仪、离子色谱仪
此外,AAF还拥有世界领先的化学实验室,配备气相色谱质谱联用仪、离子色谱仪等高端大型的分析测试仪,使得AAF可以直接至客户现场采集气体样本并分析样本气体成分,不仅大大缩短了气体采样和分析的时间,更利于为客户提供后续跟踪服务,促使AAF更高效优质的服务客户,为客户提供更完善的解决方案。
中国正处于第十三个五年规划中的重要时期,大力发展自主核心技术已成为一个必须要解决的问题。这样的环境下,微电子行业将会迎来一个高速发展的时期。借此契机,整个行业对洁净厂房的需求也会不断增多、对质量的要求也在逐渐提高,AAF作为洁净空气解决方案的专家,将为“中国智造”提供一系列完美的产品和解决方案,我们拭目以待。